バイオセンサー製造用赤外線ランプ
もし、依然として熱風循環方式を使ってバイオセンサーを乾燥させているのであれば、おそらく効率の悪さを感じていることでしょう。これは本当に非効率的です。
その理由は、対流による加熱が遅いからです。基板が温まり始める前に、チャンバー内の空気全体を加熱しなければなりません。これはエネルギーの無駄遣いであり...
半導体用金コーティング赤外線ランプ
悪夢を止める：金メッキされたランプがウェーハを清潔に保つ仕組み
半導体製造工場において、ランプが壊れるというのは単なる厄介事ではありません。それは大惨事です。
高負荷での作業中に石英管が破裂したと想像してみてください。そうなると、ガラスの破片やタングステンフィラメントが至る所に飛び散り、ウェーハの...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
なぜ無鉛バイオセンサーには赤外線を利用するのか？ バイオセンサーを作る際、熱は非常に重要な要素です。接着剤やフォトレジストを硬化させるためには熱が必要ですが、過度に加熱してしまうと、生物学的な層が損傷してしまいます。つまり、バランスを取るのが難しいのです。 そこで私たちは赤外線ランプを利用します。...
認定された赤外線硬化ランプの製造業者
シャードの発生を防げ：IR硬化処理中のウェーハを清潔に保つ方法 ウェーハ製造工程でランプが壊れるという経験がある方なら、それがどれほど悪夢的なことかご存知でしょう。単に機械が停止するだけではありません。その後には混乱が生じます。
重負荷によって石英管が破損すると、単に電球が壊れるだけでは済みません...
炭素繊維赤外線ランプ工場
カーボンファイバーを使ったIR灯で、よりスマートな製造環境を実現しましょう。
現代の工場を構築する際、熱管理は大きな課題です。しかし、重要なのは単に部品を加熱するだけではありません。重要なのは、加熱中に得られるデータです。
だからこそ、私たちはカーボンファイバーを使用したIRランプを採用しています...
ウエハー硬化ランプ用反射器
ウェーハの硬化処理用のシステムがオーブンのようになってしまうのを防ぎましょう。
高出力のIRランプを使用してウェーハを硬化処理する場合、その煩わしさはご存知でしょう。熱は望んだ場所にだけ行くわけではありません。適切な反射器がなければ、IR放射線はあちこちに散らばってしまいます。
結果として、高価な...
バイオセンサー製造用赤外線ランプ
ヒーターランプが生産性を損なうのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームで作業したことがある人なら、その厳しさはご存知でしょう。すべてが完璧でなければなりません。ほんのわずかなほこりや化学物質の混入だけで、ワーク全体が無価値になってしまいます。
問題は、多くの人々が使用しているヒーターランプ...
洗浄用防水赤外線ランプ
ヘーティング要素が生産性を台無しにするのを阻止しましょう。
クラス100のクリーンルームで作業を行っている方なら、その苦労はよくご存知でしょう。わずかな異物やヘーティング要素から出るガスだけで、全ての製品がダメになってしまいます。本当にイライラしますよね。
そこで私たちは、赤外線ランプに高純度の合...
オゾンフリー赤外線ランプ
オゾンを発生させないIRランプを安全に使うために 多くの人々は、このランプの「オゾンを発生させない」という特徴に注目しています。185nmの波長を排除することは確かに良いことです。しかし正直なところ、もし加熱装置が火事になったり、ヒューズが切れたりしたら、スペクトルの変化はあまり重要ではありません...
クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ
揮発性化学物質を加熱する際の安全対策
正直に言って、赤外線ランプをクリーンルーム内の作業台に設置するのは、まるで火遊びをしているようなものです。文字通りです。
可燃性の化学物質の蒸気が漂っている中で高温の加熱要素を使うと、大きな危険が生じます。ちょっとした火花や部品が過度に熱くなるだけで、大惨事に...
IRランプ用アルミニウム反射板
半導体製造用のツール内での熱漏れを防ぐ方法
半導体チャンバーの中にIRランプを設置することには問題があります。物理法則上、エネルギーはあらゆる方向に放出されますが、ワークピースはその空間の中でごくわずかな点に過ぎません。
このエネルギーを制御しなければ、それはただ周囲に乱反射し、装置の内壁を傷つけ...
ツインチューブ型の金メッキランプ
シャードの発生を止める：なぜ金コーティングされたツインチューブ式IRランプを使用するのか 大量生産を行う半導体工場において、ランプが壊れることは大きな問題です。単に稼働停止だけでなく、もしクォーツチューブが破損してしまうと、至る所にガラスの破片やほこりが散らばってしまいます。一度でも破損してしまう...
赤外線ウェーハヒーターランプのコスト
ウェーハの加熱においてコストを削減しつつも、品質を犠牲にしない方法について考えてみましょう。半導体製造においては、利益率が非常に低く、一円でも無駄にできません。ラインの速度に合わせて加熱が必要ですが、単にお金をかけるだけでは解決しません。そこで問題は、大手メーカーに匹敵する性能の赤外線ヒーターを、...
ニコンステッパーランプの交換
なぜニコン製ステッパーにはファウンドリグレードの赤外線ランプが必要なのか？ まず、包装やテストラインについて話しましょう。ご存知の通り、ニコン製ステッパーはその工場の心臓部です。もしこれが停止してしまうと、時間だけが無駄に過ぎていきます。1分1分が金銭的な損失につながります。 通常のランプは高価で...
OLED製造用乾燥ランプ
フォトレジストのソフトベイク時に温度が5％も変動すると、重要な寸法が急速に変わってしまいます。OLEDスタックでもすぐにその影響が現れます。そのため、乾燥装置は所定の温度を維持し続ける必要があります。私たちは、このような状況に対応するためにOLED製造用の乾燥ランプを開発しました。
内部で何が重要...
短波赤外線ランプ半導体
300mmラインでは、フォトレジストを焼成する際に1°Cの温度変動があるだけで、寸法制御が不安定になり、その結果、歩留まりも悪化してしまいます。そうした問題を解決するために、私たちは短波赤外線ランプを開発しました。重要なのは単に加熱することではなく、熱的な安定性です。
実際に重要なのは、SWIRエ...