製造工程における乾燥工程のエネルギー診断

もう、ヒーターがウェーハを台無しにするのを許してはいけません。 クラス100のクリーンルームで作業を行っている方なら、その恐ろしさはご存知でしょう。わずかなほこりや、ヒーターから放出されるガスだけで、ウェーハは使えなくなってしまいます。これは、最も小さなミスでも全体の失敗につながる、極めて重要な作...