シャードの発生を止める：なぜ金コーティングされたツインチューブ式IRランプを使用するのか
大量生産を行う半導体工場において、ランプが壊れることは大きな問題です。単に稼働停止だけでなく、もしクォーツチューブが破損してしまうと、至る所にガラスの破片やほこりが散らばってしまいます。一度でも破損してしまうと、そのロットの製品は使えなくなってしまいます。
私たちは、このような事態を防ぐために、特別に金コーティングされたツインチューブ式ランプを開発しました。
ツインチューブ式の利点
1本のフィラメントにすべての電力を集中させるのではなく、2本のフィラメントに電力を分配します。これにより、熱の負荷を分散させることができます。
シングルチューブ式の高ワット数ランプでは、局部的に高温が発生しやすくなります。しかし、熱を分散させることで、クォーツチューブへの負担を軽減できます。つまり、急速に電力を切り替えても、ランプが壊れる心配がありません。
なぜ金コーティングなのか？
金コーティングは見た目のためではありません。それは鏡のように作用し、赤外線エネルギーをウェハーに直接送り届け、筐体内に戻るのを防ぎます。
これにより2つの効果が得られます。第一に、必要な場所にしか熱が集中しないので、精度が向上します。第二に、ランプ自体が損傷するのを防ぎます。熱が目的の場所に集中するため、ランプを支える部品も冷たいままでいられます。
清潔さの維持
これらのランプは、粒子がウェハーに触れないように、専用のシールド装置と一緒に使用されます。また、金コーティングによって、表面全体の温度が安定します。そうすることで、電圧を上げたくなるような「低温部分」が発生しません。そして、どの技術者も知っているように、電圧を上げることはランプを壊す最も速い方法です。
注意点
高密度のIR加熱は、電源装置に大きな負担をかけます。金コーティングによって効率は向上しますが、反射された熱はどこかに行かなければなりません。もしケースの換気が不十分だと、周囲の熱がコネクタを壊してしまいます。
狭い空間にこれらのランプを設置する前に、必ず空気の流れを確認してください。ファンが十分に機能していないと、別の問題が発生するだけです。