フォトレジストのソフトベイク時に温度が5％も変動すると、重要な寸法が急速に変わってしまいます。OLEDスタックでもすぐにその影響が現れます。そのため、乾燥装置は所定の温度を維持し続ける必要があります。私たちは、このような状況に対応するためにOLED製造用の乾燥ランプを開発しました。 内部で何が重要...

スピンドライサイクルが停止しても、ウェハはまだ濡れている。標準的なヒーターは安定するまで時間がかかり、チャックの温度が表面全体で変動する。その結果はすぐに現れる—残渣、パターンスリップ、そして増加するスクラップ率。ライン上では、乾燥およびベイク工程はダウンタイムではなく、制御された熱処理の一段階で...