もし、依然として熱風循環方式を使ってバイオセンサーを乾燥させているのであれば、おそらく効率の悪さを感じていることでしょう。これは本当に非効率的です。
その理由は、対流による加熱が遅いからです。基板が温まり始める前に、チャンバー内の空気全体を加熱しなければなりません。これはエネルギーの無駄遣いであり、何よりも時間の無駄に他なりません。
解決策は赤外線（IR）です。 赤外線ランプはこの問題を解決します。空気を加熱するのではなく、直接材料に放射エネルギーを送るのです。つまり、「瞬時に加熱される」というわけです。
半導体製造の世界では、これは非常に大きな利点です。準備時間を数分から数秒に短縮できるのです。大量生産を行う場合、1回の処理にかかる時間を30秒だけ短縮しても、生産ラインのボトルネックを解消するのに役立ちます。
バイオセンサーにもこの技術を応用するには、短波長の赤外線アレイを使用します。このランプは、ポリマーやセンサーの化学物質が吸収したがる特定の波長の光を放ちます。その結果、必要な場所に集中的に熱が与えられ、装置全体がオーブンのようになることはありません。
しかし、これは魔法の杖ではありません。いくつかの問題点もあります。 赤外線は直線的に進むため、「端効果」に注意が必要です。ランプの配置が適切でないと、ウェハの端が焼けてしまい、中央部分はまだ冷たいままになってしまいます。単純に電源を入れるだけでは不十分で、距離を正確に調整し、PIDコントローラーを使って過度な加熱を防ぐ必要があります。
結局のところ、高精度な製造を目指すなら、赤外線が最適な手段です。これにより、乾燥ステーションのサイズを縮小でき、1個あたりの処理時間も大幅に短縮できます。配線を適切に設定し、加熱ゾーンを正確に管理すれば、処理時間はすぐに短縮されます。