ファブ内で正確な熱マッピングを実現するためには、ウェーハのファブで依然として手動のサンプリングに頼っているのであれば、それはまるで目隠しをした状態で作業しているようなものです。実際に何が起こっているのかをリアルタイムで把握する必要があります。そこで役立つのが高精度な赤外線センサーです。これにより、...

ウェーハ加熱時の二次汚染という悪夢を防ぐために 高負荷での生産を行う際、赤外線ランプが故障すると大変な問題になります。しかし、問題は単に停止時間だけではありません。 本当に厄介なのは、石英管が破裂した場合です。そうなると、ガラスの破片や化学物質がウェーハに降り注ぎます。これが二次汚染であり、数秒で...

ワットを無駄にしないために：なぜ金メッキされた反射板が重要なのか 半導体製造において、エネルギーの損失は単なる設計上のミスです。ウェーハヒーターを使う際には、すべてのワットのエネルギーがウェーハに届くことが求められます。ほとんどの標準的な反射板では、多くのエネルギーがチャッシュ内に漏れ出してしまい...

ウェーハの硬化処理用のシステムがオーブンのようになってしまうのを防ぎましょう。 高出力のIRランプを使用してウェーハを硬化処理する場合、その煩わしさはご存知でしょう。熱は望んだ場所にだけ行くわけではありません。適切な反射器がなければ、IR放射線はあちこちに散らばってしまいます。 結果として、高価な...

ウェーハの加熱においてコストを削減しつつも、品質を犠牲にしない方法について考えてみましょう。半導体製造においては、利益率が非常に低く、一円でも無駄にできません。ラインの速度に合わせて加熱が必要ですが、単にお金をかけるだけでは解決しません。そこで問題は、大手メーカーに匹敵する性能の赤外線ヒーターを、...

ウェーハレベルパッケージングラインにおいては、無鉛はんだを使用する場合、適当な処理ではうまくいきません。加熱が不十分だと空洞ができたり、はんだの溶着が悪くなったりします。逆に過度に加熱すると、ドーパントが移動してしまい、重要な寸法が変化してしまいます。必要なのは、クリーンルーム内で実施される、再現...

スピンドライサイクルが停止しても、ウェハはまだ濡れている。標準的なヒーターは安定するまで時間がかかり、チャックの温度が表面全体で変動する。その結果はすぐに現れる—残渣、パターンスリップ、そして増加するスクラップ率。ライン上では、乾燥およびベイク工程はダウンタイムではなく、制御された熱処理の一段階で...