赤外線ウェーハヒーターランプのコスト

ウェーハの加熱においてコストを削減しつつも、品質を犠牲にしない方法について考えてみましょう。半導体製造においては、利益率が非常に低く、一円でも無駄にできません。ラインの速度に合わせて加熱が必要ですが、単にお金をかけるだけでは解決しません。そこで問題は、大手メーカーに匹敵する性能の赤外線ヒーターを、...