ウェーハ加熱の安全距離

ウェーハ加熱時の二次汚染という悪夢を防ぐために 高負荷での生産を行う際、赤外線ランプが故障すると大変な問題になります。しかし、問題は単に停止時間だけではありません。 本当に厄介なのは、石英管が破裂した場合です。そうなると、ガラスの破片や化学物質がウェーハに降り注ぎます。これが二次汚染であり、数秒で...