ウェーハ加熱時の二次汚染という悪夢を防ぐために 高負荷での生産を行う際、赤外線ランプが故障すると大変な問題になります。しかし、問題は単に停止時間だけではありません。 本当に厄介なのは、石英管が破裂した場合です。そうなると、ガラスの破片や化学物質がウェーハに降り注ぎます。これが二次汚染であり、数秒で...

なぜ赤外線加熱が現代の半導体工場に最適なのか 次世代の半導体工場を建設する際には、熱の取り扱い方を見直す必要があります。 従来の方法、つまり大きな対流式オーブンではもはや不十分です。反応が遅く、何もかもがデジタル化され、データによって制御される今、巨大な空気を温めるのを待つわけにはいきません。 だ...

なぜ赤外線ヒーターがすぐ壊れてしまうのか（そして、私たちがどう対処したか） 赤外線ヒーターには、ちょっとした秘密があります。実際には、最初に壊れるのはフィラメントではありません。ほとんどの場合、ヒーターが壊れる原因は、水分が電気端子に入り込み、短絡を引き起こし、結果として全体が破壊されてしまうから...

リソグラフィーの工程においては、わずか0.5度の温度変動だけでも、重要な寸法が変わってしまい、フォトレジストの形状がエッチング前に露呈してしまう可能性があります。したがって、信頼性の高い加熱が必要であり、不安定な加熱では不十分です。 内部で何が重要か 私たちは、ウェハーレベルでの制御を前提としてオ...

ファブフロアでは、ベイク温度の0.5°Cのドリフトがフォトレジストのプロファイルをナノメートル単位で変動させる。そのわずかな変化がライン幅制御の喪失と大量のスクラップを引き起こす。クォーツハロゲンヒーターバルブはこのプロセスにおける熱的アンカーであり、熱予算をウェハ上に正確に保持するために設計され...