もう、ヒーターがウェーハを台無しにするのを許してはいけません。
クラス100のクリーンルームで作業を行っている方なら、その恐ろしさはご存知でしょう。わずかなほこりや、ヒーターから放出されるガスだけで、ウェーハは使えなくなってしまいます。これは、最も小さなミスでも全体の失敗につながる、極めて重要な作業です。
だからこそ、私たちは従来のヒーターを使うのをやめ、IRランプには高純度の合成石英を使用するようにしました。
秘密は石英にあります。
私たちが使用しているのは、不純物がほとんど含まれていない融成シリカです。安価な石英を使ったことがある方なら、数回の加熱処理後に石英が曇ってしまうことを知っているでしょう。しかし、私たちの製品はそうではありません。透明で化学的に安定しているため、工場内に漂う何かと反応することはありません。金属イオンが工程に混入する心配もありません。
では、熱について話しましょう。
必要な乾燥速度を得るために、多量のワット数を狭い空間に集中させます。これにより、強力な短波長のIR放射が得られます。ただし、このような高い出力はランプの密封部に大きな負担をかけます。
私たちは真空密封技術を用いてこれを解決しました。ハロゲンガスがクリーンルーム内に漏れ出すことはありません。ただし、高頻度で使用する場合は、排気システムに注意が必要です。ハウジング周辺に熱が溜まると、フィラメントが壊れる可能性があります。
設置自体は簡単です。
これらの装置は「そのまま取り付け可能」に設計されています。接着剤や有機コーティングは一切使用されていません。それらは温度が上がるとガスを放出してしまいます。すべてが純粋に機械的な構造です。
最後に、電源にも注意してください。工場内は騒音が多いため、急激な電圧の変動によって高純度のフィラメントが破損する可能性があります。電圧を安定させておけば問題ありません。
結局のところ、重要なのは、塵一つ入れずに溶剤を迅速に蒸発させることです。それには、適切な材料を使用し、精度を保つことが重要です。それだけです。