悪夢を止める：金メッキされたランプがウェーハを清潔に保つ仕組み 半導体製造工場において、ランプが壊れるというのは単なる厄介事ではありません。それは大惨事です。 高負荷での作業中に石英管が破裂したと想像してみてください。そうなると、ガラスの破片やタングステンフィラメントが至る所に飛び散り、ウェーハの...

シャードの発生を止める：なぜ金コーティングされたツインチューブ式IRランプを使用するのか 大量生産を行う半導体工場において、ランプが壊れることは大きな問題です。単に稼働停止だけでなく、もしクォーツチューブが破損してしまうと、至る所にガラスの破片やほこりが散らばってしまいます。一度でも破損してしまう...