もう、ヒーターがウェーハを台無しにするのを許してはいけません。 クラス100のクリーンルームで作業を行っている方なら、その恐ろしさはご存知でしょう。わずかなほこりや、ヒーターから放出されるガスだけで、ウェーハは使えなくなってしまいます。これは、最も小さなミスでも全体の失敗につながる、極めて重要な作...

ガラスの破片が飛び散るのを防ぐ：IRランプの故障対処法 高負荷状態でIRランプが故障すると、それは本当に厄介な問題です。単に熱が出なくなるだけではありません。 実際の問題は、作業場がガラスの破片やハロゲンガスで汚染されてしまうことです。ウェーハが汚染され、チームが何時間もかけてチャンバーを清掃しな...

シャードの発生を防げ：IR硬化処理中のウェーハを清潔に保つ方法 ウェーハ製造工程でランプが壊れるという経験がある方なら、それがどれほど悪夢的なことかご存知でしょう。単に機械が停止するだけではありません。その後には混乱が生じます。 重負荷によって石英管が破損すると、単に電球が壊れるだけでは済みません...

カーボンファイバーを使ったIR灯で、よりスマートな製造環境を実現しましょう。 現代の工場を構築する際、熱管理は大きな課題です。しかし、重要なのは単に部品を加熱するだけではありません。重要なのは、加熱中に得られるデータです。 だからこそ、私たちはカーボンファイバーを使用したIRランプを採用しています...

ファブフロアにおけるフォトレジストのベイク性能はナノメートル単位と摂氏の差に依存します。ソフトベイクまたはハードベイクでの0.5℃のドリフトはクリティカルディメンションのバイアスをずらし、ライン幅の制御を不可能にし、ロット全体を廃棄する要因となります。トラックやコーター内のIR加熱スタックは電圧変...