なぜ赤外線ヒーターがすぐ壊れてしまうのか（そして、私たちがどう対処したか） 赤外線ヒーターには、ちょっとした秘密があります。実際には、最初に壊れるのはフィラメントではありません。ほとんどの場合、ヒーターが壊れる原因は、水分が電気端子に入り込み、短絡を引き起こし、結果として全体が破壊されてしまうから...

グローブボックスの加熱を適切に行うために もし、製造プラントをより「スマート」なシステムへと移行させるつもりなら、加熱システムもそれに合わせて機能しなければなりません。そのため、私たちはグローブボックスに赤外線ヒーターを使用しています。 考えてみてください。サンプルを温めるためだけに、大量の不活性...

リソグラフィーの工程においては、わずか0.5度の温度変動だけでも、重要な寸法が変わってしまい、フォトレジストの形状がエッチング前に露呈してしまう可能性があります。したがって、信頼性の高い加熱が必要であり、不安定な加熱では不十分です。 内部で何が重要か 私たちは、ウェハーレベルでの制御を前提としてオ...