ガラスの破片が飛び散るのを防ぐ：IRランプの故障対処法
高負荷状態でIRランプが故障すると、それは本当に厄介な問題です。単に熱が出なくなるだけではありません。
実際の問題は、作業場がガラスの破片やハロゲンガスで汚染されてしまうことです。ウェーハが汚染され、チームが何時間もかけてチャンバーを清掃しなければなりません。これは本当に大変な問題です。
解決策は実はとても簡単です。ステンレス製のケースを使うのです。
ランプを露出した状態にしておく代わりに、専用のケースに入れておきます。これは安全装置のようなものです。もしランプが割れたり故障したりしても、ケースが破片をウェーハに届く前に受け止めてくれます。
ステンレスを使う理由は、高温になっても剥がれたりガスが発生したりしないからです。クリーンルームでは、機器から不要な揮発性物質が放出されるのは避けたいものです。
ただし、注意点があります。
ランプをケースに入れると、熱が閉じ込められてしまいます。注意しないと、ランプが過熱して思ったより早く故障してしまいます。
これを防ぐために、設計時に適切な通気口や空気流路を設けています。これらの隙間によって熱が逃げる一方で、ガラスの破片は外に出ないようになっています。
ちなみに、冷却ファンも確認してください。ケース内の空気を循環させるのに十分な性能のファンが必要です。もし空気の流れが弱すぎると、ランプが過熱してしまい、また同じ問題が起こります。
メンテナンスを楽にする
1本のランプを交換するために、全体の加熱装置を分解するのは誰も望みません。それは時間の無駄であり、新たな汚染物質がシステム内に混入する原因にもなります。
そのため、私たちはこのようなケースをスライド式やボルト留め式にしています。そうすれば、素早くランプを交換して作業に戻ることができます。これはごく簡単な機械的な改良ですが、重要な時には大いに役立ちます。