もう、ヒーターがウェーハを台無しにするのを許してはいけません。 クラス100のクリーンルームで作業を行っている方なら、その恐ろしさはご存知でしょう。わずかなほこりや、ヒーターから放出されるガスだけで、ウェーハは使えなくなってしまいます。これは、最も小さなミスでも全体の失敗につながる、極めて重要な作...

ワットを無駄にしないために：なぜ金メッキされた反射板が重要なのか 半導体製造において、エネルギーの損失は単なる設計上のミスです。ウェーハヒーターを使う際には、すべてのワットのエネルギーがウェーハに届くことが求められます。ほとんどの標準的な反射板では、多くのエネルギーがチャッシュ内に漏れ出してしまい...

なぜ赤外線加熱が現代の半導体工場に最適なのか 次世代の半導体工場を建設する際には、熱の取り扱い方を見直す必要があります。 従来の方法、つまり大きな対流式オーブンではもはや不十分です。反応が遅く、何もかもがデジタル化され、データによって制御される今、巨大な空気を温めるのを待つわけにはいきません。 だ...