シャードの発生を止める：なぜ金コーティングされたツインチューブ式IRランプを使用するのか 大量生産を行う半導体工場において、ランプが壊れることは大きな問題です。単に稼働停止だけでなく、もしクォーツチューブが破損してしまうと、至る所にガラスの破片やほこりが散らばってしまいます。一度でも破損してしまう...

製造現場において、フォトレジストの焼成は単なる推奨事項ではなく、必須のプロセスです。はっきり言ってしまえば、ソフトベイクの温度が2°Cだけ変動しても、製品の寸法精度に影響が出ます。そして、そのような誤差は小さく留まらず、急速に拡大していきます。 透明なクォーツ製の2700Wの赤外線ランプは、このよ...