クリーンルーム内のヒーターがフューズを吹き飛ばさないようにするために クリーンルームでは、「小さな」電気的トラブルなど許されません。すべてが完璧でなければなりません。このような場所向けの赤外線ヒーターを製造する際、最も懸念されるのは、電流が筐体内部に漏れ込むことです。わずかな絶縁不良があっただけで...

リソグラフィーの工程においては、わずか0.5度の温度変動だけでも、重要な寸法が変わってしまい、フォトレジストの形状がエッチング前に露呈してしまう可能性があります。したがって、信頼性の高い加熱が必要であり、不安定な加熱では不十分です。 内部で何が重要か 私たちは、ウェハーレベルでの制御を前提としてオ...