半導体用クォーツハロゲンヒーティングバルブ

ファブフロアでは、ベイク温度の0.5°Cのドリフトがフォトレジストのプロファイルをナノメートル単位で変動させる。そのわずかな変化がライン幅制御の喪失と大量のスクラップを引き起こす。クォーツハロゲンヒーターバルブはこのプロセスにおける熱的アンカーであり、熱予算をウェハ上に正確に保持するために設計され...