半導体製造装置用部品：ヒーター

ファブの現場では、その高温焼成用オーブンのドアが開きます。もし温度にわずかな変動があっても、フォトレジストの形状が崩れてしまいます。そうなると、生産ラインが停止してしまいます。予期しない停止は、利益を削り、良品のウェーハを無駄にしてしまいます。 内部で重要なのは何か 半導体製造装置用のヒーターは、...