世界の半導体製造装置の貿易

ファブの現場では、フォトレジスト処理中に温度がわずかに変動しても、そのウェーハは使えなくなってしまいます。ウェーハの数は固定されており、熱管理も絶対に緩めることはできません。推測の余地はありません。 技術的に重要なのは何か リソグラフィーの歩留まりを左右する熱的要素に焦点を当てます。具体的には、フ...