ファブ内で正確な熱マッピングを実現するためには、ウェーハのファブで依然として手動のサンプリングに頼っているのであれば、それはまるで目隠しをした状態で作業しているようなものです。実際に何が起こっているのかをリアルタイムで把握する必要があります。そこで役立つのが高精度な赤外線センサーです。これにより、...

IR加熱を活用して水素センサーの製造を正しく行うには もし水素センサーの製造に携わったことがあるなら、その難しさはご存知でしょう。膜を安定させ、触媒をうまく固定するためには、正確な温度管理が必要です。「ほぼ十分」というわけにはいきません。 だからこそ、私たちは短波長の赤外線を利用します。この方法の...