省エネ型ウェーハヒーター

ワットを無駄にしないために：なぜ金メッキされた反射板が重要なのか 半導体製造において、エネルギーの損失は単なる設計上のミスです。ウェーハヒーターを使う際には、すべてのワットのエネルギーがウェーハに届くことが求められます。ほとんどの標準的な反射板では、多くのエネルギーがチャッシュ内に漏れ出してしまい...