ファブIR用電圧レギュレーター

ファブフロアにおけるフォトレジストのベイク性能はナノメートル単位と摂氏の差に依存します。ソフトベイクまたはハードベイクでの0.5℃のドリフトはクリティカルディメンションのバイアスをずらし、ライン幅の制御を不可能にし、ロット全体を廃棄する要因となります。トラックやコーター内のIR加熱スタックは電圧変...