IC用コンパクト赤外線乾燥機

リソグラフィフロアでは、ベーク工程のずれが始まるとすぐにキューが積み上がるのが見える。ソフトベークの温度がわずかにずれるだけで、クリティカルディメンションの制御が規格外になる。ハードベークの非均一性は、後にエッジビード、レジストの不良、そして不要なトラブルとして現れる。ラインを運用し、サーマルバジ...