自動ウェーハ乾燥ヒーター

スピンドライサイクルが停止しても、ウェハはまだ濡れている。標準的なヒーターは安定するまで時間がかかり、チャックの温度が表面全体で変動する。その結果はすぐに現れる—残渣、パターンスリップ、そして増加するスクラップ率。ライン上では、乾燥およびベイク工程はダウンタイムではなく、制御された熱処理の一段階で...