为何黄金反射器是半导体加热领域的理想选择
在处理晶圆脱气及固化工艺时，我们需要快速为晶圆提供热量。但关键不在于单纯让晶圆变热，而在于确保热量能够准确地作用于晶圆上，而不是让其他设备也跟着升温。
这时，短波红外灯和镀金反射器就派上用场了。
其原理其实很简单。大多数人会首先选择铝制反射器，但铝会吸收过多的能量。而黄金则不同——它能够高效地反射红外线，这样一来，更多光子能够直接照射到晶圆上，而不会被反射器吸收。这样就能产生更集中、更有效的热源。由于加热效果更为精准，因此无需提高总功率，就能保持晶圆的适当温度。这无疑是一种双赢的局面。
此外，还有另一个好处：可以降低空调的能耗。因为这些灯具具有高功率密度，所以能够更快地提升温度。如果使用廉价的反射器，热量就会四处散逸，从而迫使空调系统更加努力地工作来去除空气中的热量。而一旦使用镀金反射器，就可以避免这种情况，进而节省能源。
不过，也有一个缺点：黄金对清洁要求很高。不能使用强力化学物质来清洁它，否则镀层就会被破坏。必须严格遵循正确的维护方法。如果表面沾上了灰尘或污染物，效率就会下降，不得不增加功率才能达到同样的效果，这显然违背了“绿色工厂”的理念。
但如果能妥善保养的话，黄金反射器就能变成一种高效的加热工具。这样就不会再浪费能源在那些不需要加热的区域了。