短波红外灯半导体

在300毫米光刻线上，光阻烘烤过程中的1°C温度波动就足以影响关键尺寸的精度，进而降低产品良率。我们设计了短波红外灯装置，以此来消除这种不确定性。这里重要的不是简单的加热，而是热稳定性。 从技术层面来看，短波红外能量能够迅速被光阻层吸收，因此无需考虑基材的热惯性问题。我们的灯具能够在整个烘烤区域内...