带金色反射器的红外灯泡
为何黄金反射器是半导体加热领域的理想选择 在处理晶圆脱气及固化工艺时,我们需要快速为晶圆提供热量。但关键不在于单纯让晶圆变热,而在于确保热量能够准确地作用于晶圆上,而不是让其他设备也跟着升温。
这时,短波红外灯和镀金反射器就派上用场了。
其原理其实很简单。大多数人会首先选择铝制反射器,但铝会吸收过...
晶圆固化灯用反射器
防止晶圆固化系统变成“烤箱” 如果你使用高功率的红外灯来对晶圆进行固化处理,那你肯定知道其中存在的难题。热量不会乖乖地停留在你希望它所在的位置上。如果没有合适的反射器,那些红外辐射就会四处散射。这样一来,昂贵设备的内部就会变成一个巨大的散热体,设备外壳的温度会升高到足以烫伤人的程度,而那些敏感的电...
红外灯用铝制反射器
阻止半导体加工设备中的热量泄漏 将红外灯安装在半导体加工舱内存在一个问题:物理定律并不关心你的设备如何。热量会向各个方向扩散,而工件在那个空间里其实只是一个小点而已。如果你无法控制这些热量的方向,它们就会四处乱窜,最终撞击到机器的内壁。很快,机器的壳体就会过热,一旦有人触碰到机器的外壳,就会引发严...