用于晶圆的精密红外传感器
在芯片制造过程中,如何准确获取温度数据至关重要。如果你仍然依赖人工抽样来检测晶圆的温度,那无疑是在盲目操作。你需要实时了解晶圆表面的实际情况。这时,高精度的红外传感器就派上用场了——它们无需直接接触晶圆,就能精确检测出其表面温度。
这是唯一的可行方法。如果在高温环境下尝试直接触碰晶圆,只会导致污染...
氢气传感器制造用加热器
如何利用红外线加热技术正确制造氢气传感器
如果你曾经从事过氢气传感器的研发工作,那么你就知道其中的不易。要让传感器薄膜保持稳定状态,同时让催化剂能够牢固地附着在上面,就必须精确控制加热过程。容错率几乎为零。
正因如此,我们选择使用短波红外线系统。这种技术的优势在于,其能量可以直接作用于材料本身,而...