工厂干燥系统的能源审计
停止让加热器破坏你的晶圆吧!
如果你在操作100级洁净室,那么你一定知道其中的风险有多大。哪怕有一点微小的碎片或加热元件释放出的气体,都会导致晶圆报废。这可以说是一场高风险的游戏,稍有差错就会造成彻底的失败。
因此,我们不再使用传统的加热器,而是改用高纯度的合成石英作为红外灯的材料。**秘诀就在于...
节能晶圆加热器
别再浪费电能了:为何镀金反射器如此重要 在半导体生产过程中,电能的流失无疑是一种糟糕的设计缺陷。当为晶圆加热时,我们希望每一瓦特的能量都能传递到晶圆上。而大多数普通反射器会让大量能量泄漏到设备外壳中,这就相当于白白浪费能源。正因如此,我们才会使用镀金反射器。
为何选择黄金? 这主要是因为黄金能够有...
节能型半导体加热器
为何红外线加热是现代半导体工厂的理想选择 如果您正在规划建造新一代半导体工厂,那就必须重新思考如何处理热量问题。传统的对流式加热方式已经不再适用——它们效率低下。在当今这个一切都被数字化、由数据驱动的时代,显然不能等待一大堆空气慢慢变热。因此,我们选择使用红外线加热系统。这种系统可以直接将热量传递...