用于半导体加热器的热电偶

在红外半导体加热技术中，如何准确控制温度至关重要。如果我们真的想要实现芯片制造领域的碳中和目标，那就不能再使用电阻式炉子来为整个反应室加热了——那实在是浪费资源。与其如此，不如改用红外灯系统，因为这样可以直接对晶圆进行加热。 不过，这里有个问题：红外灯的加热速度极快。为了防止温度失控，就需要使用能...