ウェーハレベルパッケージングラインにおいては、無鉛はんだを使用する場合、適当な処理ではうまくいきません。加熱が不十分だと空洞ができたり、はんだの溶着が悪くなったりします。逆に過度に加熱すると、ドーパントが移動してしまい、重要な寸法が変化してしまいます。必要なのは、クリーンルーム内で実施される、再現性の高く均一な加熱です。そうすることで、生産プロセスがスムーズに進みます。
内部で何が重要か この予熱器は短波赤外線を利用しており、迅速に反応する石英素子を使うことで、急激な温度上昇を実現しつつもオーバーシュートを防ぎます。ウェーハ全体の温度均一性は±0.1℃以内に保たれ、フィードバック制御によって設定温度が維持されます。ホットゾーンはクラス1～100のクリーンルームでの使用に適しており、表面処理やシールによって粒子の発生を完全に防ぎます。
プロセスの信頼性を高めるため、このシステムはフォトレジストのベイク処理をサポートしており、厳格な温度管理と完全な記録管理が可能です。24時間365日稼働できるように設計されており、部品も連続稼働に耐えられるものを使用しています。また、計画外の停止時間を最小限に抑えるように設計されています。
なぜウェーハレベルパッケージングに適しているのか 無鉛はんだを使用する場合、正確な予熱が必要です。これにより、スタックに負荷をかけずにはんだが溶融します。この装置は急速な温度上昇を実現し、均一な温度を保つことで、端から中心までのばらつきによる不良品を減らします。粒子の発生がないため、リソグラフィーやフォトレジスト処理の歩留まりが向上します。また、再現性の高いベイクプロファイルによって、重要な寸法が安定します。
エネルギー消費も削減されます。システムは必要な時だけ加熱し、効率的に温度を維持するため、生産速度を落とすことなくコストを削減できます。
何に注意すべきか この予熱器は標準的なハンドラーやパッケージングツールと連携できますが、機械的な接続やガス接続は設置時にしっかりと行う必要があります。はんだペーストやスタックアップに合わせて、温度上昇や保持時間を調整するための調整期間が必要です。このシステムは無鉛対応ですが、それぞれの材料に適した動作温度や保持時間を確認する必要があります。