用于晶圆的精密红外传感器
在芯片制造过程中,如何准确获取温度数据至关重要。如果你仍然依赖人工抽样来检测晶圆的温度,那无疑是在盲目操作。你需要实时了解晶圆表面的实际情况。这时,高精度的红外传感器就派上用场了——它们无需直接接触晶圆,就能精确检测出其表面温度。
这是唯一的可行方法。如果在高温环境下尝试直接触碰晶圆,只会导致污染...
红外灯用铝制反射器
阻止半导体加工设备中的热量泄漏 将红外灯安装在半导体加工舱内存在一个问题:物理定律并不关心你的设备如何。热量会向各个方向扩散,而工件在那个空间里其实只是一个小点而已。如果你无法控制这些热量的方向,它们就会四处乱窜,最终撞击到机器的内壁。很快,机器的壳体就会过热,一旦有人触碰到机器的外壳,就会引发严...