팹에서 정확한 온도 측정을 하는 방법 만약 여전히 웨이퍼 제작 과정에서 수동 샘플링에 의존하고 있다면, 그건 마치 암흑 속에서 작업하는 것과 같습니다. 실시간으로 무슨 일이 일어나고 있는지 확인해야 합니다. 바로 이때 고정밀 IR 센서가 필요합니다. 이 센서들 덕분에...

반도체 제조 공정에서 열 누출을 막는 방법 반도체 처리 장치 내부에 적외선 램프를 설치할 때 발생하는 문제는 무엇일까요? 물리 법칙상으로는 장비의 상태는 중요하지 않습니다. 열은 모든 방향으로 퍼져나가지만, 워크피스는 그 공간에서 아주 작은 점에 불과합니다. 이러한...

서론 반도체 산업은 빠르게 변화하고 있습니다. 우리 모두는 납 사용을 줄이고 에너지 소비를 절감해야 할 압력에 처해 있습니다. 이러한 현실 때문에 우리는 건조 기술에 더욱 집중할 수밖에 없습니다. 솔직히 말해서, 적외선을 이용한 건조 방식이 전 세계적으로 가장 효과적...

팹 플로어에서의 기술적 중요성 포토레지스트 베이크 성능은 나노미터와 도에 달려 있습니다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크에서 0.5°C의 변동은 중요한 치수 편차를 초래하고, 라인 폭 제어를 저해하며, 전체 로트를 폐기할 수 있습니다. 트랙 또는 코터의 IR 히팅 스...