팹 IR용 전압 조절기

팹 플로어에서의 기술적 중요성 포토레지스트 베이크 성능은 나노미터와 도에 달려 있습니다. 소프트 베이크 또는 하드 베이크에서 0.5°C의 변동은 중요한 치수 편차를 초래하고, 라인 폭 제어를 저해하며, 전체 로트를 폐기할 수 있습니다. 트랙 또는 코터의 IR 히팅 스...