공장 건조 공정의 에너지 감사
더 이상 히터 때문에 웨이퍼가 망가지는 일이 없도록 하세요.
클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 히팅 요소에서 나오는 가스만으로도 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 이는 매우 위험한 상황이며,...
에너지 효율적인 웨이퍼 히터
불필요한 에너지 낭비를 멈추세요: 왜 금 코팅된 반사체가 중요한가요? 반도체 제조 과정에서 에너지가 낭비되는 것은 좋지 않은 설계의 결과입니다. 웨이퍼를 가열할 때는 모든 와트의 에너지가 웨이퍼에 도달해야 합니다. 대부분의 일반적인 반사체는 너무 많은 에너지가 장비...
에너지 절약형 반도체 히팅
왜 적외선 가열이 현대 반도체 공장에 적합한가?
차세대 반도체 공장을 계획한다면, 열을 처리하는 방식을 재고해야 합니다. 기존의 대형 대류식 오븐은 더 이상 효과적이지 않습니다. 반응 속도가 너무 느리죠. 모든 것이 디지털화되고 데이터에 의해 제어되는 오늘날에는, 거...