웨이퍼 가열 과정에서 발생하는 2차 오염 문제를 막는 방법 고부하 생산을 진행할 때, 고장 난 적외선 램프는 심각한 문제가 됩니다. 하지만 문제는 단순히 가동 중단에 그치지 않습니다. 진짜 문제는 석영관이 파손될 때 발생합니다. 갑자기 유리 조각과 화학물질들이 웨이퍼...

적외선 히터를 진정으로 “스마트”하게 만드는 방법 일반적인 히터들은 마치 기다리는 과정을 반복하는 것 같지 않나요? 히터를 켜고 나서는 그냥 기다릴 수밖에 없습니다. 공기가 따뜻해지기를, 환기구가 제대로 작동하기를, 그리고 추위가 사라지기를 기다려야 합니다. 하지만...