클린룸의 히터가 퓨즈를 파괴하지 않도록 하는 방법 클린룸에서는 “작은” 전기적 문제라는 것이 존재하지 않습니다. 모든 것이 완벽해야 합니다. 이러한 공간에 적용되는 적외선 히터를 제작할 때 가장 우려되는 점은 전류가 히터의 하우징으로 유출되는 것입니다. 아주 작은 절...

리소그래피 공정에서는, 단 0.5도만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 그로 인해 포토레지스트의 프로파일이 손상되어 에칭 공정을 거치기 전에 이미 문제가 발생할 수 있습니다. 따라서 신뢰할 수 있는 열원이 필요하며, 예측 불가능한 상황이 발...