단파 적외선 램프 반도체

300mm 웨이퍼를 사용할 때, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 이러한 변수를 제거하기 위해 우리는 단파 적외선(SWIR) 램프를 개발했습니다. 중요한 것은 단순히 가열하는 것이 아니라, 온도의 안...