IC용 소형 적외선 건조기

리소그래피 작업장에서 베이크 단계가 조금이라도 벗어나기 시작하면 대기열이 쌓이는 것을 볼 수 있다. 소프트 베이크 온도가 조금만 벗어나도 핵심 치수 제어가 규격을 벗어난다. 하드 베이크 비균일성은 나중에 엣지 비드, 레지스트 고장, 그리고 불필요한 골칫거리로 나타난다...