왜 반도체 가열에는 금으로 된 반사판이 최적의 선택인가요? 웨이퍼의 가스 제거나 경화 작업을 할 때는 열이 필요합니다. 하지만 중요한 것은 단순히 웨이퍼를 뜨겁게 만드는 것이 아니라, 그 열이 정확히 원하는 곳에 도달하도록 하는 것입니다. 그렇지 않으면 기계의 다른...

Fab 현장에서 베이크 온도가 0.5°C 변동하면 포토레지스트 프로파일이 나노미터 단위로 이동할 수 있다. 이 정도 차이로도 선폭 제어에 실패해 대량 폐기될 수 있다. 쿼츠 할로겐 히팅 벌브는 이 과정에서 열적 기준점으로 작용하며, 열 예산을 웨이퍼에 정확히 유지하도...