用于制造的电压调节器 IR

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤性能以纳米和温度为单位进行严格控制。软烘或硬烘温度漂移仅0.5°C，就可能导致关键尺寸偏移，影响线宽控制，甚至报废整批产品。轨道或涂覆机中的红外加热堆对电压波动不宽容——灯输出、光谱稳定性和热稳态均直接受电源影响。 技术关键点 我们为晶圆厂红外系统设计了电压调节器，以确保灯...