全球半导体设备贸易

在芯片制造过程中，如果在光阻处理阶段出现温度波动，那整个生产流程就全完了。晶圆的数量是固定的，而温度控制则是不可妥协的——没有丝毫容错空间。 从技术角度来说，关键在于控制那些直接影响光刻效果的温度节点：光阻的预烘烤、正式烘烤以及烘烤后的稳定化处理。 短波红外线能够快速加热整个光阻层，从而减少溶剂残...