自动晶圆干燥加热器

脱水旋转周期结束，晶圆仍然潮湿。标准加热器稳定时间过长，夹具温度在表面上波动。问题立刻显现——残留物、图案偏移，报废率上升。在生产线上，干燥和烘烤步骤不是停机时间，而是受控的热处理过程。如果加热不稳定，光刻胶轮廓会发生变化，关键尺寸（CD）控制收紧，颗粒开始出现在不应存在的位置。自动晶圆干燥加热器...