确保洁净室中的加热器不会导致电路故障 在洁净室里，任何微小的电气故障都是不可接受的。一切都必须做到完美无缺。在为这类场所设计红外线加热器时，我们最担心的就是电流泄漏到设备外壳中。一旦出现绝缘层损坏的情况，那么无菌环境就会被破坏，甚至导致整个系统瘫痪。没人希望在周五下午遇到这种问题。 对灯泡进行严格...

在光刻过程中，即使温度只有半度的变化，也足以改变关键尺寸，导致光阻层在进入蚀刻步骤之前就暴露出来。因此，需要的是那种稳定性极高的加热系统，而不是那种性能不可预测的加热装置。 关键在于一致性 我们设计的加热元件能够实现晶圆层面的精确控温，其温度稳定性可保持在±0.1℃以内。这样一来，无论进行何种类型...