Stoppen Sie den „Glass-Shower“: Wie man mit Defekten der Infrarotlampen umgeht
Falls Ihnen schon einmal eine Infrarotlampe während des Betriebs ausgefallen ist, wissen Sie, wie schlimm das ist. Es geht nicht nur um die Unterbrechung der Beleuchtung – das eigentliche Problem ist der Schmutz, der entsteht. Eine defekte Quarztube verwandelt sich praktisch in eine Art „Confetti-Kanone“, die Glassplitter sowie Halogengas über den Arbeitsbereich verteilt. Schnell sind die Wafers kontaminiert, und das Team muss stundenlang damit verbringen, den Raum zu reinigen. Das ist wirklich ein riesiges Problem.
Die Lösung ist eigentlich ganz einfach: Gehäuse aus Edelstahl.
Anstatt die Lampe offen im Raum zu lassen, setzen wir sie in ein maßgeschneidertes Gehäuse ein. Man kann es als Sicherheitskäfig betrachten. Wenn die Lampe zerbricht oder ausgeht, fängt das Gehäuse die Splitter auf, bevor diese die Wafers erreichen können.
Wir verwenden Edelstahl, weil er bei hohen Temperaturen keine Splitter abgibt und auch keine Gase freisetzt. In einem Reinraum möchte man auf keinen Fall, dass die Ausrüstung unerwünschte Stoffe in den Prozess abgibt.
Aber es gibt einen Haken:
Wenn man die Lampe in ein Gehäuse einsetzt, wird die Wärme eingeschlossen. Wenn man nicht vorsichtig ist, überhitzt die Lampe und stirbt viel früher, als eigentlich nötig wäre.
Um das zu verhindern, führen wir spezielle Belüftungsöffnungen in das Gehäuse ein. Diese Öffnungen ermöglichen es der Wärme, abzuziehen – doch sie sind gleichzeitig groß genug, um Glassplitter abzuwehren.
Tipp: Überprüfen Sie Ihre Kühlventilatoren. Sie benötigen Ventilatoren, die Luft durch das Gehäuse leiten können. Wenn die Luftzirkulation zu schwach ist, werden die Lampen überhitzen – und Sie sind wieder am Anfang.
Wartung wird so einfacher
Niemand möchte ein ganzes Heizsystem demontieren, nur um eine einzige Lampe auszutauschen. Das ist Zeitverschwendung – und außerdem besteht die Gefahr, dass neue Verunreinigungen in das System gelangen.
Deshalb gestalten wir die Gehäuse so, dass man die Lampen schnell austauschen kann. Es handelt sich dabei um eine einfache mechanische Lösung – doch sie spart viel Stress, especially in Situationen, in denen es auf Zeit ankommt.