Das Ende des Albtraums der sekundären Kontamination beim Erhitzen von Wafern
Wenn man eine hohe Produktionsrate erreichen will, ist ein defekter Infrarotstrahler ein echtes Problem. Doch es geht nicht nur um die Stillstandszeiten. Der eigentliche Albtraum beginnt, wenn eine Quarzröhre zerbricht. Plötzlich fallen Glasscherben und chemische Rückstände auf die Wafers herab. Das ist eine sekundäre Kontamination – und sie kann ganze Chargen in Sekundenschnelle ruinieren. Wir entwickeln unsere Heizsysteme so, dass das nicht passiert.
Die optimale Entfernung und die richtige Hitze
Es gibt immer einen Spannungsconflikt zwischen Hitzedichte und Sicherheit. Man möchte, dass die Lampe möglichst nahe an den Wafern ist, um eine intensive Hitze zu erzeugen. Doch wenn sie zu nahe ist, kann die thermische Ausdehnung dazu führen, dass die Röhre mit der Werkstück berührt wird. Wir planen das nicht einfach so – wir berechnen den Sicherheitsabstand anhand der Leistung und des Durchmessers der Röhre, damit immer eine zuverlässige Pufferzone vorhanden ist.
Die Hardware
Hochleistungs-Lampen werden extrem heiß – so heiß, dass die Befestigungen daran verbiegen können, falls diese nicht ausreichend robust sind. Wir verwenden Materialien, die bei Erwärmung kaum ausdehnen, sodass die Lampe weiterhin stabil bleibt.
Ein praktischer Tipp: Achten Sie auf die Kühlfunktion Ihres Systems. Wenn das System die umgebende Hitze nicht bewältigen kann, werden die Lampen viel schneller defekt – und dann steigt das Risiko eines Bruchs enorm an.
Vermeidung von Schmutzpartikeln
Um zu verhindern, dass Schmutzpartikel die Wafers berühren, setzen wir eine physische Barriere ein. Wir verwenden einen hochreinen Quarzschild, der direkt zwischen dem Heizelement und dem Werkstück platziert wird. Falls eine Lampe kaputtgeht und zerbricht, fängt der Schild die Scherben auf. Dadurch bleiben die Wafers sauber. So einfach ist das.
Qualität der verwendeten Materialien
Wir kümmern uns auch sehr darum, welche Materialien in die Maschine kommen. In der Heizzone finden Sie keine billigen Klebstoffe oder minderwertigen Dichtstoffe. Warum? Weil diese Materialien bei Erwärmung Gase abgeben, was zu einer dünnen, unsichtbaren Schicht aus Rückständen auf den Wafers führt. Von den Anschlüssen bis zu den Halteelementen – jedes Teil wird sorgfältig ausgewählt, damit keine Chemikalien in den Prozess gelangen.
Der Kompromiss
Nun, hier kommt die ehrliche Seite: Ein Schutzschild blockiert zwar etwas von der Infrarotenergie. Dadurch nimmt die Heizeffizienz etwas ab. Um das auszugleichen, muss man vielleicht die Leistung erhöhen oder die Zykluszeiten anpassen. Doch das ist ein kleiner Preis dafür, dass man nicht ganze Chargen wegen eines defekten Strahlers verschwenden muss.