Hören Sie auf, Energie zu verschwenden – warum goldbeschichtete Reflektoren wirklich wichtig sind
Bei der Arbeit mit Halbleitern ist es schlichtweg schlechtes Design, wenn Energie verloren geht. Wenn man einen Waferheizer verwendet, möchte man, dass jede einzelne Watt-Einheit den Wafer erreicht. Punkt. Die meisten Standard-Reflektoren lassen zu viel Energie in das Gehäuse entweichen – das bedeutet im Grunde genommen, dass die Ausrüstung unnötig überhitzt wird. Deshalb verwenden wir goldbeschichtete Reflektoren.
Warum Gold?
Es kommt darauf an, wie Gold mit Infrarotstrahlung umgeht. Während die meisten Materialien Infrarotstrahlung einfach aufsaugen oder streuen, reflektiert Gold sie wieder zurück. Wir erwärmen hier also nicht einfach nur die Luft – vielmehr lenken wir die Photonen um. Indem fast alle kurzwelligen Strahlungen wieder auf den Wafer gerichtet werden, entsteht eine gut definierte, fokussierte Wärmzone. Das Beste daran: Man muss nicht unbedingt eine hohe Leistung einsetzen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen.
Die richtige Form des Reflektors
Das Gold allein reicht jedoch nicht aus. Die Form des Reflektors muss perfekt sein. Wenn die Krümmung auch nur um einen Bruchteil eines Millimeters fehlt, entstehen Hotspots. Wir wissen alle, wohin das führt: Verformte Wafers und Probleme bei der chemischen Vapordeposition. Wir investieren viel Zeit darin, sicherzustellen, dass der Fokuspunkt genau auf der Waferoberfläche liegt. Nur so kann man eine gleichmäßige Wärmeverteilung über die gesamte Oberfläche erreichen.
Herausforderungen bei der Installation
Es gibt allerdings einige Herausforderungen. Goldbeschichtungen sind empfindlich. Bitte reinigen Sie sie auf keinen Fall mit abrasiven Polierpaden – dadurch werden die Oberflächen beschädigt und die Reflektivität sinkt. Tragen Sie außerdem Handschuhe – Hautöle können bei hohen Temperaturen in die Beschichtung eindringen und dauerhafte dunkle Flecken hinterlassen, die nicht entfernt werden können.
Schlussfolgerung
Da ein goldbeschichtetes System eine sehr hohe Wärmestärke auf den Wafer überträgt, können die PID-Controller etwas instabil reagieren. Sie müssen wahrscheinlich neu kalibriert werden, damit die Temperatur nicht über das gewünschte Niveau steigt.