더 이상 히터 때문에 웨이퍼가 망가지는 일이 없도록 하세요. 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 그 고통스러운 상황을 잘 알고 있을 것입니다. 아주 작은 먼지 조각이나 히팅 요소에서 나오는 가스만으로도 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 이는 매우 위험한 상황이며,...

포토레지스트를 소프트 베이크하는 과정에서 온도가 5%만 변해도, 장치의 중요한 치수들이 급격하게 변할 수 있습니다. OLED 스택의 경우에도 이러한 변화가 즉시 나타납니다. 따라서 건조기는 설정된 온도를 유지하면서 반복적으로 작동해야 합니다. 우리는 바로 이러한 상황...

스핀 드라이 사이클이 종료되었는데 웨이퍼는 여전히 젖어 있다. 표준 히터는 안정화에 시간이 너무 오래 걸리고 척 온도는 표면 전반에 걸쳐 편차가 발생한다. 결과는 즉시 나타난다—잔류물, 패턴 슬립, 그리고 증가하는 스크랩률. 생산 현장에서는 건조 및 베이크 단계가 단...