불필요한 에너지 낭비를 멈추세요: 왜 금 코팅된 반사체가 중요한가요?
반도체 제조 과정에서 에너지가 낭비되는 것은 좋지 않은 설계의 결과입니다. 웨이퍼를 가열할 때는 모든 와트의 에너지가 웨이퍼에 도달해야 합니다. 대부분의 일반적인 반사체는 너무 많은 에너지가 장비 내부로 빠져나가게 되는데, 이는 결국 장비가 불필요하게 과열되는 결과를 초래합니다. 그렇기 때문에 우리는 금 코팅을 사용하는 것입니다.
왜 금인가요?
그 이유는 금이 적외선을 어떻게 다루는지에 있습니다. 대부분의 재료들은 적외선을 흡수하거나 산란시키지만, 금은 그 적외선을 다시 반사시킵니다.
우리는 단순히 공기를 따뜻하게 하는 것이 아니라, 광자들을 정확한 방향으로 유도하는 것입니다. 거의 모든 단파 적외선을 목표물 쪽으로 반사함으로써, 균일한 열 분포를 만들어낼 수 있습니다. 가장 좋은 점은, 목표 온도에 도달하기 위해 높은 전력을 사용할 필요가 없다는 것입니다.
적절한 형태가 중요합니다
금 코팅만으로는 충분하지 않습니다. 반사체의 형태도 정확해야 합니다.
만약 곡률이 몇 밀리미터만 틀어져도, 열이 집중되는 부분이 생깁니다. 이로 인해 웨이퍼가 변형되거나 화학 기상 증착 과정에 문제가 생길 수 있습니다. 우리는 초점이 웨이퍼 표면에 정확히 맞도록 많은 시간을 들여 조절합니다. 이것이야말로 전체 직경에 걸쳐 균일한 열 분포를 얻는 유일한 방법입니다.
주의해야 할 사항들
하지만 금 코팅에는 주의해야 할 점들이 있습니다. 금 코팅은 섬세하기 때문입니다.
제발, 장비를 보호하기 위해 절대로 연마재로 그 표면을 문지르지 마세요. 그러면 표면이 손상되어 반사율이 떨어집니다. 또한 장갑을 착용해야 합니다. 피부의 기름이 고온에서 코팅에 스며들어 영구적인 어두운 반점이 생길 수 있습니다.
또한, 높은 전력을 사용할 경우 전원 공급 장치가 그 전류를 감당할 수 있는지 반드시 확인해야 합니다.
금 코팅된 시스템은 웨이퍼에 매우 높은 열밀도를 가하기 때문에, PID 컨트롤러가 조금 불안정해질 수 있습니다. 따라서 온도가 목표치를 넘지 않도록 다시 조정해야 합니다.